Alguns processos na produção química geralmente precisam ser realizados sob a condição de pressão subatmosférica. Uma bomba de vácuo é um dispositivo mecânico que obtém uma pressão absoluta inferior à pressão atmosférica. Existem muitos tipos estruturais de bombas de vácuo. Vários tipos de bombas de vácuo comumente usadas em fábricas de produtos químicos são apresentados a seguir.

1. Bomba de vácuo alternativa
O princípio de funcionamento da bomba de vácuo alternativo é basicamente o mesmo do compressor alternativo, e a diferença estrutural não é grande, mas a válvula utilizada deve ser mais leve e fácil de abrir e fechar. Quando o grau de vácuo necessário é alto, a taxa de compressão é grande e a influência do gás residual na folga é grande, então a folga do sistema de vácuo deve ser pequena. Para reduzir a influência da folga, uma passagem de ar de equilíbrio é definida entre as extremidades esquerda e direita do cilindro da bomba de vácuo. Quando o pistão estiver esgotado, deixe as passagens de ar de equilíbrio abertas por um curto período de tempo, permitindo que o gás restante na folga flua de um lado do pistão para o outro, reduzindo assim sua pressão.

2. Bomba de vácuo de anel de água
Há um impulsor montado excentricamente no invólucro circular e a bomba contém uma certa quantidade de água. Quando o rotor gira, devido à força centrífuga, a água é lançada na parede do casco para formar um anel de água. Este anel de água atua como uma vedação e fecha o espaço entre as lâminas em muitas pequenas células de tamanhos diferentes. Quando o rotor gira para a metade direita, o volume da câmara selada se expande gradualmente e o gás é inalado da porta de sucção à direita; quando o rotor gira para a metade esquerda, o volume da câmara diminui gradualmente e o gás é descarregado da porta de exaustão à esquerda.

O volume de ar formado pela bomba de vácuo de anel de água é limitado pela temperatura da água, atingindo geralmente cerca de 83,4x103Pa. A bomba também pode ser utilizada como soprador, e a pressão gerada (pressão manométrica) não ultrapassa 98,07x103Pa.

O sistema de vácuo anel d'água possui estrutura simples e compacta, é de fácil fabricação e manutenção, e possui longa vida útil, pois a parte rotativa não possui atrito mecânico.

As bombas de vácuo de anel de água são adequadas para o transporte de gases corrosivos ou explosivos. A desvantagem é que a eficiência é baixa, geralmente 30~50%.

3. Bomba de vácuo de jato de água
Se o fluido de trabalho da bomba a jato for água, ela é chamada de bomba a jato de água; se for vapor de água, é chamado de bomba de jato de vapor.

A pressão da bomba de jato de vapor de estágio único pode chegar a 0,01MPa. Para obter um grau mais alto de vácuo, um sistema de jato de vários estágios pode ser usado.

As vantagens da bomba de vácuo a jato são ampla faixa de pressão de trabalho, grande capacidade de bombeamento e estrutura simples. A desvantagem é que a eficiência é muito baixa.