A bomba de vácuo DVE selada a óleo é a bomba de vácuo DVE de palheta rotativa, que geralmente é a bomba de vácuo DVE de estágio frontal da unidade de vácuo. Este tipo de bomba comprime vários gases mistos à pressão atmosférica e os descarrega no tubo de escape na faixa de 60 ~ 100 ℃.

Se a pressão, concentração e temperatura dos produtos perigosos na bomba forem relativamente altas, essas substâncias se acumulam na bomba e nos acessórios da bomba, e essas substâncias entram em contato com o ar circundante no tubo de escape, etc., que constituirá perigos potenciais.

Para os gases perigosos usados ​​ou gerados na fabricação de semicondutores, métodos de medição apropriados devem ser adotados para prevenir incêndio e explosão, para garantir a operação normal do equipamento e para prevenir envenenamento agudo ou crônico de operadores, pessoal de manutenção e pessoal de serviço. Por razões de segurança, bombas de vácuo DVE adequadas e acessórios com potência de bombeamento suficiente devem ser equipados, e métodos razoáveis ​​de operação e manutenção devem ser adotados, e dispositivos de monitoramento apropriados devem ser equipados.
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